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半導(dǎo)體設(shè)備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性

來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間:2023-05-26 15:58

半導(dǎo)體設(shè)備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性,能限定震幅,防止共振和沖擊共振頻率能夠設(shè)計成非常低,甚至低于1Hz,共振頻率通常為5-7Hz。減振效率遠(yuǎn)高于其他減振元件,能夠隔離低頻振動。作為具有可調(diào)節(jié)的非線性靜態(tài)剛度和減震特點的減振元件。其特點是力伴隨著運動速度變化而變化。當(dāng)導(dǎo)氣彈簧力的作用點移動較快時,彈簧阻力明顯,而作用點移動較慢時,阻力很小。
空氣彈簧一般由奧氏體材料或依據(jù)客戶的要求制造。活塞桿行程尺寸8mm的余量,尺寸選擇合理,應(yīng)力適當(dāng)。選用球形空氣彈簧和鉸鏈?zhǔn)讲y管,應(yīng)加裝導(dǎo)向支架,防止波紋管失去了穩(wěn)定性。選用其他方式,補(bǔ)償管道太長時,還應(yīng)提供導(dǎo)向支撐。補(bǔ)償管道較長時要采用減小磨擦。
空氣彈簧的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計大多選用結(jié)構(gòu),兩邊,端面為光滑突面,兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴(yán)密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機(jī)的影響,能夠保護(hù)壓印機(jī)不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統(tǒng)的減振原理,確定了剛度及減振系統(tǒng)的共振頻率,并與實際減振系統(tǒng)的實驗結(jié)果相符合,說明印壓光刻機(jī)低頻減振設(shè)計合理可行。
半導(dǎo)體設(shè)備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性
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