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SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器使用教程

來(lái)源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-08-08 11:39

在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展下，投影光刻機(jī)作為一種重要的微細(xì)加工設(shè)備，廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體行業(yè)、科學(xué)研究領(lǐng)域等。為了確保光刻機(jī)的高精度加工效果，提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性，投影光刻機(jī)空氣隔振器的使用就顯得尤為重要。本文將介紹SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器的使用方法，幫助用戶正確操作和維護(hù)設(shè)備。

 

1.在使用SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器之前，首先需要檢查隔振器的安裝是否正確。確保安裝位置平整穩(wěn)固，并且與光刻機(jī)底座連接緊密。同時(shí)，檢查氣源管道的連接情況，確保氣體能夠順利進(jìn)入隔振器，維持正常的工作狀態(tài)。

 

2.接下來(lái)，我們需要了解如何正確操作SSB225/20型投影光刻機(jī)空氣隔振器。首先，打開(kāi)氣源開(kāi)關(guān)，保證氣體供應(yīng)正常。然后，通過(guò)調(diào)節(jié)氣源壓力控制閥，將隔振器內(nèi)氣囊的壓力調(diào)整到合適的范圍。過(guò)高或過(guò)低的氣囊壓力都會(huì)影響設(shè)備的工作效果，因此需根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。

 

3.隔振器內(nèi)的氣囊壓力調(diào)整完畢后，我們需要進(jìn)行水平度和垂直度的校準(zhǔn)。首先，打開(kāi)光刻機(jī)的水平校準(zhǔn)功能，并根據(jù)設(shè)備操作手冊(cè)的要求進(jìn)行相關(guān)調(diào)整。對(duì)于垂直度的校準(zhǔn)，可以通過(guò)控制氣源開(kāi)關(guān)和氣囊壓力控制閥，來(lái)實(shí)現(xiàn)隔振器的升降調(diào)整。在調(diào)整過(guò)程中，需要注意保持光刻機(jī)的穩(wěn)定，避免產(chǎn)生任何不必要的震動(dòng)。

 

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